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2026-10-26
长善精密叉指电极蒸镀掩膜版加工能力评估报告
一、产品背景与加工难点评估叉指电极蒸镀掩膜版是半导体传感器、声表面波器件、MEMS器件等领域制备高精度金属电极的核心母版。其结构特征为两组或多组梳状电极相互交叉排列,形成交替的电极与间隙,属于典型的环绕型微细薄壁结构。该类产品的加工面临三大严苛约束:1.微米级线宽与间距要求:线宽与间距通常需控...

长善精密叉指电极蒸镀掩膜版加工能力评估报告